型號規格 | SEF-J |
有效加工幅面 | 1.1m×1.4m(或635mm×1245mm) |
最大刻線速度 | 800~1000mm/s |
重復定位精度 | ±10μm |
刻線直線度 | ±10μm/1000mm |
刻線寬度 | 50~80um |
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